第(3/3)页 这点他很有自信。 就这样没过多久，两人便顺利到达了大厅。 推开门走到里面，能看到已经有不少人到场，其中徐源还看到不少熟悉的身影。 其中便包括光电技术研究所的罗亚杰院士。 他们光电技术研究所，也要进行国产极紫外光刻机的研发工作，按照相关规定流程，今天也是要上台进行方案规划报告的。 简单来说就是拿出接下来研究的方向，以及目前正处于什么阶段。 明确之后院里起码能知道进度，好在人员和经费设备等问题上进行支持。 对此徐源也没有闲着，趁会议还没有开始，便带着赵翔朝罗亚杰等人走过去打起招呼。 也算顺便让赵翔放松下精神。 能够清楚看到，相比较上回见到罗亚杰，今天对方的脸色明显变得更加憔悴。显然这最近的半个月，没少为极紫外光刻机的事操心忧虑。 但这也是没有办法的事情，海外既然已经把招式给摆了出来，不积极去应对又怎么能行。 身为科研人员的骄傲还是有的。 也就在两人寒暄着的时候，只见房门再次被人从外面推开。 走进来的正是杨老，以及院长白新周，和另外几位负责人员。 “杨老好。” 大厅内的其他人，看到杨老居然也来了，惊喜之下连忙站起身打招呼。 脸上纷纷堆着笑容。 毕竟先不说杨老的年龄是场内最大的，单是在科学界的成就便值得其他人敬重。 …… 伴随白新周和杨老入场，接着也没继续浪费时间。 立刻便宣布会议正式开始。 按照流程白新周简单讲了几句话后，便直接进入项目方案报告流程。 对此杨老并没有发表讲话，很明显是专门为了稳态微聚束光刻工厂来的。 最终由光电技术研究所的罗亚杰，率先上台进行相关的报告。 尽管罗亚杰给大家分享了一个好消息，说到他们研究所关于22纳米超分辨光刻装备，最近在技术上迎来了新的突破之后，顿时引起台下不少人热烈鼓掌。 但同时大家也都知道，就算攻克了22纳米光刻机制造技术，距离阿麦斯的7纳米极紫外光刻机，仍有着非常大的差距。 关键这中间的差距，实在让人看不到追赶甚至超越的希望。 之后另外两个进行光刻机研究的研究所，也上台进行了研究报告。 至于结果则和光电技术研究所方面差不多。 就算继续研究下去，除非出现奇迹，否则几年内想追赶上海外完全不可能。 时间一分一秒流逝。 院长白新周脸色也变得难看起来。 如果说刚对外宣布，要自主研发国产极紫外光刻机的时候，还非常意气风发斗志昂扬，那么此刻经过半个月的沉淀认知后，才真正感觉到那种巨大技术差距下面临的无力感。 不过很快白新周突然想到了什么，趁着其他人下去顿时把目光锁定了徐源。 下秒直接开门见山道： “徐院士。” “我记得你上次提到稳态微聚束，其光源能够用于EUV光刻。” “现在有具体方案了吗？” 徐源听到自己的名字，这时候自然不会卖关子，当即便开口回答起来。 “是的院长。” “这段时间我和验证了稳态微聚束的赵翔教授，顺利完成了关于光刻工厂的相关构想，我向院里申请尽快开始此项目。” 说完便和赵翔一起，两人配合着对已经完成的方案进行讲解。 在场所有人中，有人了解过稳态微聚束，有的人则是首次听到。 看见能让徐源这位两院院士如此重视，甚至还要求项目尽快立项实施，整个人的好奇心不由得被成功钩了出来。 纷纷集中注意力朝徐源望去。 而随着稳态微聚束光刻工厂的设想图，在大厅内屏幕上完全展示出来时，大家目光瞬间便被吸引住。 “传统的极紫外光刻机技术，大多数专利都掌握在阿麦斯手中，我们想要在这种情况下研究出，几乎是一件很难短期做到的事。” “所以我在想有没有另辟蹊径的办法，能实现对高端芯片的制造。” “最终稳态微聚束出现在了我的脑海。” “理论上通过稳态微聚束光源，我们可以直接就建造出一座光刻工厂，利用不同波长的光源，去生产不同规格的芯片。” “并且我相信未来国内，会是最大的半导体市场。” “光刻工厂也符合我们的国情。” …… 徐源把大家的表情都看在眼里，不过并没有这时候去解释什么。 而是按照自己的节奏，对光刻工厂方案进行报告。 后面涉及到的相关理论技术等，则由赵翔配合顺利完成。 待把整个方案报告完毕后，整个大厅陷入到了短暂的沉默之中，随即反应过来台下顿时一阵骚乱。 大家都讨论着这个方案。 “把芯片制造问题变成了我们最擅长的基建，这绝对是一个天才般的构想。” “我们确实不用必须延续海外的道路，谁说生产芯片就必须要有光刻机，建造这样的光刻工厂才适合我们。” “这是一个全新的研究方向，应该一试。” “如果光刻工厂真能实现的话，这对全球半导体行业都将是一场革命。” “我现在都已经迫不及待，想要看到这座光刻工厂投入使用的样子了，十万个零件的极紫外光刻机我们有图纸也制造不出来，但却能建造比得上很多台光刻机的光刻工厂。” “或许稳态微聚束光刻工厂，就是我们解决困境最大的转机。” …… 板了半天脸的白新周，此刻总算有了些笑容，对徐源和赵翔提出的光刻工厂方案同样很看好。 更何况以往只要徐源负责的项目，就还没有过失败的情况。 不过他并没有立刻进行举手决定，而是先侧过脸询问身旁杨老的看法。 “杨老。” “关于稳态微聚束光刻工厂您怎么看？” 杨老本来就是为了这件事，终于到自己的环节，自然是有什么说什么。 “小徐和赵翔早就拿这个方案给我看了，虽然仍有些技术问题需要解决，但我认为还是非常可行的。” …… 第(3/3)页